异质结钙钛矿复合镀膜装备商昶火微科完成A轮融资--同威资本独家投资

近日，国内领先的微电子薄膜工艺方案解决商昶火微科完成A轮融资，本轮融资由同威资本独家投资。据了解，昶火微科主要解决光伏异质结太阳能高效电池所需的纳米级非/微晶硅薄膜、液晶面板TFT lcd所需的低温非晶硅薄膜、柔性OLED显示所需低温氮化硅薄膜以及光学等其他行业所需的微电子薄膜。

昶火微科致力于开发半导体硅基纳米薄膜生长工艺解决方案，是国内专注于大面积平板镀膜装备研发制造企业。公司在基于大面积薄膜领先技术优势下，在异质结及钙钛矿叠层电池核心工艺装备研发方面取得了重大进展，针对异质结及钙钛矿叠层电池的痛点开发了运行高效、工艺灵活的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备，并且具备完全自主知识产权。

据笔者了解，该装备利用簇型并行工艺的逻辑，解决异质结钙钛矿叠层的多层薄膜多种工艺的节拍不匹配性问题；利用低温镀膜解决低温叠层的材料的温度匹配性问题，同时具备2.2m×2.6m超大面积均匀镀膜的能力。目前，昶火微科研发的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备已经开始量产，将为异质结+钙钛矿叠层太阳能电池的量产铺平道路。